據(jù)日經(jīng)BP社報道,日本精工公司日前在2005年日本國際半導體設備與材料展覽暨研討會(SEMICON Japan 2005)上,展出了可在水、酸和堿性環(huán)境下使用的軸承“不銹鋼自動調(diào)心滾子軸承”系列。
該系列軸承屬于適合于無塵環(huán)境、真空及高溫和低溫下使用的“Spacea軸承”系列的追加產(chǎn)品。使用該軸承,能夠延長在洗凈工序中使用的搬運設備所用軸承的保修時間。
新系統(tǒng)在內(nèi)外輪中采用了高耐腐蝕性馬氏體不銹鋼“ES1”。ES1通過對碳和鉻的用量進行調(diào)整,抑制了大共晶碳化物的產(chǎn)生。同時通過在制鋼過程中添加氮氣,提高了硬度與耐腐蝕性。與普通軸承使用的“SUJ2”鋼相比,具有10倍以上的耐腐蝕性?!?/P>
容許調(diào)心角度為4~7°。潤滑劑采用了低粉化型和真空用潤滑劑。共有6種產(chǎn)品,內(nèi)徑在10~25mm之間。2005年12月上市。