日本精工開發(fā)出面向半導(dǎo)體晶圓搬送機器人的軸承——“真空無塵環(huán)境用高清潔度軸承”，并將于2006年4月上市角接觸球軸承、四點接觸球軸承和向心球軸承3種產(chǎn)品。該公司2004年上市了“真空無塵環(huán)境用N系列薄壁軸承”，與此前產(chǎn)品相比該產(chǎn)品的脫氣和微塵較少，而且潤滑油的耐久性也較高，此次的產(chǎn)品進一步降低了脫氣，提高了耐久性能。 

    作為發(fā)生脫氣的原因，首先就是使用有機溶劑進行清洗時殘留在軸承表面的油污，以及殘留在封裝上的潤滑材料等有機物。其次，潤滑劑也會產(chǎn)生脫氣。

    新產(chǎn)品則采取了如下對策：（1）采用溶解力強的超純水進行精密清洗；（2）開發(fā)出了新型封裝；（3）觸球軌道面采用了處理低蒸汽壓碳?xì)浠衔镉蜔颇さ摹癊-DFO”。這樣一來，將附著在軸承上的殘留有機物減少到了此前的大約1/5，同時將脫氣減至此前1/5，耐久性能提高至此前5倍。

    該公司將在2005年12月7～9日舉辦的“SEMICON Japan 2005”（千葉·幕張MESSE國際會展中心）上展示該產(chǎn)品。